臭氧发生器使用高介电常数的材料制造电极，提高加工精度。臭氧发生器改善冷却条件，采用水冷或双极冷却。臭氧发生器降低气源露点，提高气源洁净度。臭氧发生器提高臭氧电源的驱动频率，降低电耗。臭氧发生器采用智能控制，并对运行工况再线监测。
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